플라즈마 시스템은 "플라즈마 클리너"라고도 알려져 있다.
이러한 플라즈마 시스템을 사용하면 여러 종류의 표면을 세정할 수 있다. The plasma systems are also known as "plasma cleaner". With this plasma systems it is possible to clean different kinds of surfaces. 전자현미경 관찰시 표면을 클리닝 해줌으로써 깨끗한 이미지 관찰을 할 수 있도록 도와주는 장비이다.
본 장비는 플라즈마를 이용하여 유기물 또는 먼지 등을 제거하는 장비이다. 유기물은 주로 탄화수소가 서로 고리형태로 연결괴어 있는데 대기압 플라즈마 장치에서 발생되는 라디칼들이 그 고리를 끊어서 유기물을 분해시키는 작용을 통해 유기물을 제거한다. 아르곤 같은 불활성 가스의 경우 활성화된 이온들이 표면을 때리게 되고 그로 인해 작은 양의 물질들이 제거된다. 산소와 같은 활성가스의 경우 이온이 때리는것 뿐만 아니라 화학 반응도 일어나게 된다. 결과적으로 유기화합물등과 잔여물 들이 휘발됨으로써 제거가 된다.
A 70 liters/sec turbo molecular drag pump.
O2 at 25psi (1.7 bar) Grade 99.995%
H2 at 25psi (1.7 bar) Grade 99.995%
Ar (Option) at 25psi (1.7 bar) Certified Standard (i.e. industrial grade - certified +/- 2%)
직접사용+분석시험의뢰
◎ 표기된 요금은 부가세(10%) 미포함
◎ 해당 요금은 교외요금 기준으로 교내의뢰시 20% 감면
◎ 표시되지 않은 시료전처리, 재료비 및 분석결과의 특별한 해석을 의뢰할 경우에 별도로 요금을 산정함
◎ 직접사용 가능 기기는 교내외 교육 후 이용 가능
| 구분 | 항목 | 단위 | 외부 | 교내 | 기타 | 비고 |
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